| 品 番 | 品 名 | 価 格 | 価 格 |
|---|---|---|---|
| M205DAS-E-O2X | センサーカートリッジ（O2） | ￥59,700- | |
| M205DAS-E-O3X | センサーカートリッジ（O3） | ￥56,700- | |
| M205DAS-E-PH3 | センサーカートリッジ（PH3） | ￥56,700- | |
| M205DAS-E-SHL | センサーカートリッジ（SiH4） | ￥56,700- | |
| M205DAS-E-SHX | センサーカートリッジ（SiH4・Si2H6） | ￥56,700- | |
| M205DAS-E-SO2 | センサーカートリッジ（SO2） | ￥56,700- | |
| M205DAS-E-TEO | センサーカートリッジ（TEOS） | ￥56,700- | |
| M205DAS-I-N2O | センサーカートリッジ（N2O） | ￥238,700- | |
| M205DAS-XCF | センサーカートリッジ（CH2F2・C4F6・C5F8） | ￥56,700- |